真空測(cè)量是真空技術(shù)中的一個(gè)重要組成部分。用于測(cè)量真空度的儀器稱為真空計(jì)。
真空爐及真空熔煉爐常用的真空計(jì)有：熱偶真空計(jì)電離真空計(jì)等。它們的工作原理如下：
（一）熱偶真空計(jì)
熱偶真空計(jì)由敏感元件、熱偶規(guī)管和測(cè)量?jī)x器組成。熱偶規(guī)管與被測(cè)真空系統(tǒng)相通，外殼為玻璃管，管內(nèi)有加熱絲和熱偶絲。熱偶絲的冷端和熱端溫度不同時(shí)，由于溫差效應(yīng)，在回路中有熱電勢(shì)產(chǎn)生。如加熱絲電壓保持恒定，則熱偶絲的電勢(shì)限決于加熱絲的溫度，而加熱絲的溫度與被測(cè)氣體的壓強(qiáng)有關(guān)。壓強(qiáng)低，氣體熱導(dǎo)率小，被氣體帶走的熱量少，加熱絲溫度升高，熱偶絲的熱電勢(shì)增大；反之，則熱電勢(shì)減少。回路中的熱電勢(shì)用毫伏表測(cè)量，表中的毫伏數(shù)即反映出真空度的高低。為了保證加熱絲的電壓穩(wěn)定，而接入了穩(wěn)壓電源。所以測(cè)量?jī)x器是由測(cè)量熱電勢(shì)的毫伏表和規(guī)管加熱絲穩(wěn)壓電源兩部分組成。
（二）電離真空計(jì)
這種真空計(jì)主要用于測(cè)量高真空度。在低壓強(qiáng)氣體中，氣體分子被電離生成的正離子數(shù)與氣體壓強(qiáng)成正比按照離產(chǎn)生的方法不同，利用熱陰極發(fā)射電子使氣體電離的真空計(jì)叫熱陰極電離真空計(jì)；其中，熱陰極電離真空計(jì)由熱陰極規(guī)管和測(cè)量?jī)x器組成。測(cè)量?jī)x器由規(guī)管工作電源、發(fā)射電流穩(wěn)壓器、離子流測(cè)量放大器等部分組成。熱陰極電離規(guī)管與被測(cè)真空系統(tǒng)相通。熱陰極電離規(guī)管是一個(gè)三極管，管內(nèi)有陰極、柵及和收集極。收集極電位相對(duì)于陰極電負(fù)電位；柵極相對(duì)于陰極電正電位。當(dāng)電離規(guī)管通電加熱后，陰極發(fā)射電子，在電子到達(dá)柵極的過(guò)程中，與氣體分子碰撞而產(chǎn)生正離子和電子的電離現(xiàn)象。當(dāng)發(fā)射電流一定時(shí)，正離子數(shù)日與被測(cè)氣體壓強(qiáng)成正比。正離子被收集極收集后，經(jīng)測(cè)量電路放大，可由批示電表讀出所要測(cè)量的真空度（箱式爐）。
（三）復(fù)合真空計(jì)
通常，對(duì)低真空和高真空的測(cè)量不能用一種真空計(jì)來(lái)完成，而應(yīng)采用復(fù)合真空計(jì)，應(yīng)用較多的是電離與熱偶式復(fù)合真空計(jì)。它的測(cè)量范圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真空計(jì)測(cè)量（10-1--10-3)×133.32Pa的低真空；電離真空計(jì)測(cè)量133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。復(fù)合真空計(jì)附有一個(gè)熱偶規(guī)管、一個(gè)電離規(guī)管，分別接在真空系統(tǒng)上，通過(guò)旋鈕可分別給兩個(gè)規(guī)管加熱，并選擇使用。http://www.lylwyl.com